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兼容INFICON的热电离，冷电离，皮拉尼及电容薄膜四种真空规，为您测量和控制过程提供最完美的解决方案。VGC400系列控制器的测量范围为10-8至1.5x105Pa(10-10to1500mbar、

INFICONPEG100真空潘宁规提供了可靠的高真空测量。无高真空灯丝。由于等离子点火的钛阴极板和高电压降低，潘宁规也可以应用在阴极溅射镀膜工艺上。 >测量范围广：5X10-7～1P

INFICON石英晶体膜厚控制仪产品型号:IC/5 多用途的IC/5理想地适用于控制多源、多坩埚、多材料或多过程系统的膜层沉积速率和膜厚。IC/5可满足即使最复杂、最高要求与特殊应用的需要。

SQM160是利用INFICON石英晶体传感技术在镀膜过程中测量沉积速率和膜厚的精密仪器，标准型有两路传感器输入，同时，4路传感器输入可选，具体视用户实际应用而定；双输出可以向操作者提供直观的模拟沉积

每十位线性输出1V的内部电路：允许独立工作，易于综合到OEM控制系统，传输信号到100m开外。• 新的诊断功能：报告灯丝烧断、超量程、校准错误。• 双按钮调节设

D-TEKSelect冷媒检漏仪的核心是红外吸收filtometer。它包含其一端为红外源（或发射源）另一端为红外能量检测器，两者之间是滤光器的取样单元。与我们见到的可见光相同，红外能量是电磁能谱的一

IGC电离真空规控制器 性能特点·测量范围宽：电子束除气型的测量范围为5x10-3到2x10-11mbar。·表头可选择：可选择电子束除气、裸规或玻璃封装、钨或涂

•电缆连接、真空规校准都可在现场方便完成，因此在很大程度减小了对外围空间的要求。•测量规管可以经受150℃烘烤。•设置点可调，可用于简单的过程控制和联锁装置。•

INFICON的Pirani标准真空计PSG500和PSG502-S代表封装在坚固耐用小型管壳内的最先进的Pirani技术.温度补偿提供快速与最稳定的真空测量并消除了对大气压强反应慢的问题.坚固耐用的

VCC500控制器和VDM005-X压电陶瓷阀组成的压强控制仪配套先进的复合真空规管使用，可自动控制充气量及压强的变化。速度快，精度高，可靠性好。特点：各组成元件均采用一流的工艺制造,使得每个环节能保