主营:真空设备;真空镀膜设备;磁控溅射镀膜设备;电阻蒸发镀膜设备;电子束蒸发镀膜设备;化学气相沉积设备;热丝化学气相沉积生长金刚石设备;大面积平板磁控溅射镀膜设备;粉体微颗粒表面磁控溅射镀膜设备;FOXBORO产品
特点1.自动工艺配方表,灵活方便的手动调节。2.工艺配方可U盘导入、导出,保证数据安全。3.下游流量控制,确保气体组分及比例稳定。4.完善的安全控制,通过互锁及冗余控制,保证系统安全。5.所有运行参数